製造商: Texas Instruments
產品類型: 電源開關IC - 配電類型: High Side
輸出數: 1 Output
輸出電流: 2 A
啟動電阻 - 最大值: 72 mOhms
工作電源電壓: 4.5 V to 5.5 V
電源電壓 - 最小值: 4.5 V
電源電壓 - 最大值: 5.5 V
最低工作溫度: - 40 C
最高工作溫度: + 85 C
安裝風格: SMD/SMT
封裝/外殼: VSSOP-8
系列: TPS2001C
封裝: Cut Tape
封裝: MouseReel
封裝: Reel
產品: USB Power Switches
品牌: Texas Instruments
濕度敏感: Yes
產品類型: Power Switch ICs - Power Distribution
原廠包裝數量: 2500
子類別: Switch ICs
每件重量: 30 mg
芯片制造的过程就如同用乐高盖房子一样,先有晶圆作为地基,再层层往上叠的芯片制造流程后,就可产出必要的 IC 芯片。然而,芯片制造并非像盖房子那么容易,究竟芯片是如何制成的?制造芯片又需要经过哪些步骤?下面介绍IC芯片的具体制造流程。
层层堆叠打造的芯片
在介绍过硅晶圆是什么东西后,同时,也知道制造IC 芯片就像是用乐高积木盖房子一样,藉由一层又一层的堆叠,创造自己所期望的造型。然而,盖房子有相当多的步骤,IC 制造也是一样,制造IC 究竟有哪些步骤?本文将就IC 芯片制造的流程做介绍。
在开始前,我们要先认识IC 芯片是什么。IC,全名积体电路(Integrated Circuit),由它的命名可知它是将设计好的电路,以堆叠的方式组合起来。藉由这个方法,我们可以减少连接电路时所需耗费的面积。下图为IC 电路的3D 图,从图中可以看出它的结构就像房子的樑和柱,一层一层堆叠,这也就是为何会将IC 制造比拟成盖房子。
从上图中IC 芯片的3D 剖面图来看,底部深蓝色的部分就是上一篇介绍的晶圆,从这张图可以更明确的知道,晶圆基板在芯片中扮演的角色是何等重要。至于红色以及土黄色的部分,则是于 IC 制作时要完成的地方。
首先,在这裡可以将红色的部分比拟成高楼中的一楼大厅。一楼大厅,是一栋房子的门户,出入都由这裡,在掌握交通下通常会有较多的机能性。因此,和其他楼层相比,在兴建时会比较复杂,需要较多的步骤。在IC 电路中,这个大厅就是逻辑闸层,它是整颗IC 中最重要的部分,藉由将多种逻辑闸组合在一起,完成功能齐全的IC 芯片。
黄色的部分,则像是一般的楼层。和一楼相比,不会有太复杂的构造,而且每层楼在兴建时也不会有太多变化。这一层的目的,是将红色部分的逻辑闸相连在一起。之所以需要这么多层,是因为有太多线路要连结在一起,在单层无法容纳所有的线路下,就要多叠几层来达成这个目标了。在这之中,不同层的线路会上下相连以满足接线的需求。
分层施工,逐层架构
知道IC 的构造后,接下来要介绍该如何制作。试想一下,如果要以油漆喷罐做精细作图时,我们需先割出图形的遮盖板,盖在纸上。接着再将油漆均匀地喷在纸上,待油漆乾后,再将遮板拿开。不断的重复这个步骤后,便可完成整齐且复杂的图形。制造IC 就是以类似的方式,藉由遮盖的方式一层一层的堆叠起来。
制作 IC 时,可以简单分成以上4 种步骤。虽然实际制造时,制造的步骤会有差异,使用的材料也有所不同,但是大体上皆采用类似的原理。这个流程和油漆作画有些许不同,IC 制造是先涂料再加做遮盖,油漆作画则是先遮盖再作画。以下将介绍各流程。
金属溅镀:将欲使用的金属材料均匀洒在晶圆片上,形成一薄膜。
涂布光阻:先将光阻材料放在晶圆片上,透过光罩(光罩原理留待下次说明),将光束打在不要的部分上,破坏光阻材料结构。接着,再以化学药剂将被破坏的材料洗去。
蚀刻技术:将没有受光阻保护的硅晶圆,以离子束蚀刻。
光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。
最后便会在一整片晶圆上完成很多IC 芯片,接下来只要将完成的方形IC 芯片剪下,便可送到封装厂做封装,至于封装厂是什么东西?就要待之后再做说明。
TPS2001CDGKR ITTPIC7218QPFPRQ1 IT
TCA6416AZQSR IT
REG71050DRVR IT
MSP430F2003IPWR IT
TS3A24159YZPR IT
HVDA553QDRQ1 IT
TS2A116E03RUTR IT
TPS65197RUYR IT
TPS65149RSHR IT
TPS56428DDAR IT
TSC2006IRTJR IT
TS3DV520ERUAR IT
TPS56528DDAR IT
TLC372CPWR IT
LM4050BIM3-5.0/NOPB IT
SN75LVDS390PWR IT
ADS1292IPBSR IT
SN65LVCP15PWR IT
THS7373IPWR IT
TPS7A4501KTTR IT
TL16C550DPFBR IT
LM93CIMTX/NOPB IT
LM21305SQ/NOPB IT
TPS62063DSGR IT
CSD16322Q5C IT
TLV320AIC3105IRHBR IT
TPA3136D2PWPR IT
LM809M3X-2.93/NOPB IT
TPA6138A2PWR IT
AM3352BZCZA60 IT
SN65HVD3088EDR IT
DRV411AIPWPR IT
TWL1200IPFBRQ1 IT
TAS5754MDCAR IT
AM1808EZWTA3 IT
LP2996MX/NOPB IT
LMD18245T/NOPB IT
THS8136IPHP IT
CSD16322Q5C IT
REF3020AIDBZR IT
TLV62095RGTR IT
TPS25810RVCR IT
ADC122S051CIMMX/NOPB IT
TPS75801KTTR IT
LM2575SX-ADJ/NOPB IT
INA133U/2K5 IT
TPA3131D2RHBR IT
TPS61070DDCR IT
TPS92023DR IT
ADS8324E/2K5 IT
TPS2549IRTERQ1 IT
UCC27321DR IT
LM5025BMTCX/NOPB IT
TAS5760MDCAR IT
TMS320F28023PTT IT
DRV8824PWPR IT
REF3240AIDBVR IT
LMV842MAX/NOPB IT
INA827AIDGKR IT
TPS7A6150QKVURQ1 IT
LMZ10501SILR IT
TPA3250D2DDWR IT
LM2575SX-5.0/NOPB IT
TUSB320LAIRWBR IT
TMS320F28020PTT IT
TPS5403DR IT
AM3354BZCZD80 IT
TPS2069CDBVR IT
TPS54060DGQR IT
TPS22929DDBVR IT
CC1350F128RHBR IT
TLV61046DBVR IT
TPS40009DGQR IT
TPS62125DSGR IT
ADS1292RIPBSR IT
TPS61089RNRR IT
INA199A2DCKR IT
TPS54332DDAR IT
TPA3116D2DADR IT
DRV8800RTYR IT
TRS3221EIPWR IT
SN74CBTLV3257DR IT
THS4031IDR IT
TLV70430DBVR IT
TPS62007DGSR IT
LP2951DR IT
TPS2559DRCR IT
TLV70212DBVR IT
TMS320F28034PNT IT
TAS5760MDAPR IT
LM5122MHX/NOPB IT
TM4C1230D5PMIR IT
INA199A1DCKR IT
TPS73HD318PWPR IT
BQ24780SRUYR IT
BQ76200PWR IT
TLV431BQDBZR IT
TPS22902BYFPR IT
TLC5916IDR IT
LM3424QMHX/NOPB IT
OPT3006YMFR IT
DAC8830IDR IT
CC1190RGVR IT
TS3A24157RSER IT
TPS56221DQPR IT
SN74LVC8T245RHLR IT
ADS1244IDGSR IT
OPA725AIDR IT
TPS76801QDR IT
LP2980IM5-3.3/NOPB IT
DRV8836DSSR IT
TCA9543APWR IT
DAC7563SDGSR IT
TPA3137D2PWPR IT
LP5907SNX-1.8/NOPB IT
TLV431AQDBVRQ1 IT
BQ294706DSGR IT
TMS5701114CPGEQQ1 IT
TLC5958RTQR IT
TPS62085RLTR IT
TMS320F28234PTPQ IT
OPA4180IDR IT
TAS5538DGGR IT
MSP430G2553IRHB32R IT
TPS2829DBVR IT
TPS78633KTTR IT
LM3414MRX/NOPB IT
TPS61220DCKR IT
LP2985IM5X-2.5/NOPB IT
ISO7341CDWR IT
TPA2005D1DRBR IT
TPS54061QDRBRQ1 IT
DRV8837CDSGR IT