本小节介绍4种目前主流的反应室技术。

   行星卫星式气浮旋转水平反应室(Planetary Reactor):该技术为德国爱思强(AIXTRON)公司产品,图1-8为反应室示意图[169l叨。在结构上,其Ⅲ族和V族反应源分别从上盖经中央水冷处理的三层气流喷嘴进入反应室, A914BY-101M通过环状格栅和喷嘴靠近托盘中心的圆形挡板阻挡,使气流被迫转向沿放置衬底的大石墨托盘(行星盘)和石英/石墨天棚之间的3ω°环形空间,呈辐射状向外缘水平流动。这样的结构带来几个明显效果:天棚(cciling)和托盘基座靠得很近,抑制了对流旋涡从而获得层流;三层流喷口的上、下两层流为V族气流,中间层为Ⅲ族气流,且喷嘴有主动水冷,这样就有利于抑制预反应,并进

一步促进层流的形成与保持。行星大盘上有多个放置衬底的石墨卫星小转盘,呈环形均匀分布。行星大盘的旋转由磁流体密封轴直接驱动,形成公转;而卫星石墨转盘则由气浮旋转技术驱动,是为自传。衬底随行星大盘公转又随卫星小盘各自自转,使得在整个衬底表面上获得均匀的生长速度。该反应室内的加热系统,对于氮化物体系采用高频感应加热,采用红外辐射高温计测量托盘底部温度并依此控制加热,也从托盘上表面监测衬底温度。其托盘底部控温的光学探头易受到沉积覆盖,影响测量准确和稳定性,容易造成温度误差而使设备工艺漂移。