有两种方法可以减轻晶圆的翘曲：K5D1257DCA-D090种是逐渐升降( ramping)或温度逐渐升降( temperature ramping)。、这种技术}上炉管平  工艺温度时保持在一个低于反应温度几百摄氏度的温度r|‘，晶圆在此温度下被缓慢送人炉管，  待机温度然后经过一个短暂的温度稳定期，控制器o自动把温度加到设定值。j在工艺反应的最后，炉管被冷却到低温，然后卸载晶圆。在逐步温控时，控制器必须保持炉管恒温Ⅸ( flat  zone)的温度控制。由于石英炉管的退化现象和需要很长时间来使恒温区温度稳定，反应炉需要一天24小时保持接近工艺所需的温度。但从经济角度来考虑，一砦晶圆制造商，喜欢在不生产时把温度保持在低温，这称为待机状态( idle)

   第二种防止晶圆翘曲的方法是缓慢地把装载晶圆的石英舟推进炉管。推进速率在每分钟英寸时，翘曲最小．、对于大直径晶圆和多晶圆批量生产时，以上两种方法会同时使用、然而，这样慢装载延长了总的T艺过程时间。垂直式炉管将这一问题减到最小，

   另外个对加热系统的要求是在装载晶圆迸入炉管后，要有…个快速的恢复时间  当满载时，温度会下降50℃或更多“)、加热系统应在不引起翘曲或温度过冲的前提下，尽快使恒温区( flat zone)达到工艺要求的温度、菠炉的典型温度恢复曲线，

   一个在实际生产应用中的管式反应炉有3~4个炉管，每个炉管有自己的温度控制器这些炉管垂直地叠放在一起，炉管接在排风腔上，排风腔把反应完的气体和热气排出炉管、反应炉的这部分连接到厂房设施的排气系统上，此系统包含一个废气处理器来进行废气处理、