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晶圆UBM上印刷助焊剂将锡球放到UBM上经过回流焊完成植球

发布时间:2023/1/15 21:02:07 访问次数:562

射频前端(RFFE,Radio Frequency Front-End)模组国内外手机终端中广泛应用。它将功率放大器(PA,Power Amplifier)、开关(Switch)、低噪声放大器LNA(Low Noise Amplifier)、滤波器(Filter)、无源器件等集成为一个模组,从而提高性能,并减小封装体积。

然而,受限于国外专利以及设计水平等因素,国产滤波器的份额相当低。在模块集成化的趋势下,国内射频巨头在布局和生产滤波器。声学滤波器可分为声表面滤波器和体声波滤波器,其中声表面滤波器可根据适用的频率细分为SAW、TC-SAW和IHP-SAW。

体声波滤波器适用于较高的频段,可细分为BAW、FBAR、XBAR等。无论是SAW(Surface Acoustic Wave filter)还是BAW(Bulk Acoustic Wave Filter),均是在晶圆级封测后以倒装芯片的工艺贴装在模组上。在晶圆级封装工艺中,Bump制造是相当重要的一道工序,将浅谈滤波器晶圆级封装(Wafer Level package)中Bump制造的关键点。

当前业内常见的几种SAW filter Wafer Bumping工艺如下:

通过打线工艺在晶圆的UBM(Under Bump Metal)上植金球。

通过钢网印刷工艺在UBM上印刷锡膏,再经过回流焊成球。

先在晶圆的UBM上印刷助焊剂,将锡球放到UBM上,再经过回流焊完成植球。

通过对印刷锡膏方案的剖析发现,在Bumping工艺中Bump的高度和共面度(同一颗芯片上Bump高度最大值最小值之差,差值越低越好)是最重要的关键指标。从钢网的工艺和设计、锡膏的特性等方面进行分析。

高的功率密度和转换效率主要得益于设计中使用了TO-220封装的功率管。目前,业界只有Transphorm提供这种封装形式的高压氮化镓器件。电源适配器以及所有通用交直流电源的低压线路(即90Vac)具有高电流,需要并联两个PQFN封装(常见于增强型氮化镓器件)的功率管,以达到所要求的功率输出——使用这种方法,器件数量翻倍,降低了电源的功率密度。Transphorm的TO-220封装有效解决了这一问题,以更低的成本实现卓越的功率密度,这是目前增强型氮化镓器件无法做到的。

其它规格及特点还包括:可运行于90至264Vac的宽输入电压下峰值效率超过96%,不同电路及负载下效率曲线平坦精准的开关频率调节,提高输入EMI滤波器的利用率超过180kHz的开关频率,适用于紧凑型设计。

上海德懿电子科技有限公司  www.deyie.com

射频前端(RFFE,Radio Frequency Front-End)模组国内外手机终端中广泛应用。它将功率放大器(PA,Power Amplifier)、开关(Switch)、低噪声放大器LNA(Low Noise Amplifier)、滤波器(Filter)、无源器件等集成为一个模组,从而提高性能,并减小封装体积。

然而,受限于国外专利以及设计水平等因素,国产滤波器的份额相当低。在模块集成化的趋势下,国内射频巨头在布局和生产滤波器。声学滤波器可分为声表面滤波器和体声波滤波器,其中声表面滤波器可根据适用的频率细分为SAW、TC-SAW和IHP-SAW。

体声波滤波器适用于较高的频段,可细分为BAW、FBAR、XBAR等。无论是SAW(Surface Acoustic Wave filter)还是BAW(Bulk Acoustic Wave Filter),均是在晶圆级封测后以倒装芯片的工艺贴装在模组上。在晶圆级封装工艺中,Bump制造是相当重要的一道工序,将浅谈滤波器晶圆级封装(Wafer Level package)中Bump制造的关键点。

当前业内常见的几种SAW filter Wafer Bumping工艺如下:

通过打线工艺在晶圆的UBM(Under Bump Metal)上植金球。

通过钢网印刷工艺在UBM上印刷锡膏,再经过回流焊成球。

先在晶圆的UBM上印刷助焊剂,将锡球放到UBM上,再经过回流焊完成植球。

通过对印刷锡膏方案的剖析发现,在Bumping工艺中Bump的高度和共面度(同一颗芯片上Bump高度最大值最小值之差,差值越低越好)是最重要的关键指标。从钢网的工艺和设计、锡膏的特性等方面进行分析。

高的功率密度和转换效率主要得益于设计中使用了TO-220封装的功率管。目前,业界只有Transphorm提供这种封装形式的高压氮化镓器件。电源适配器以及所有通用交直流电源的低压线路(即90Vac)具有高电流,需要并联两个PQFN封装(常见于增强型氮化镓器件)的功率管,以达到所要求的功率输出——使用这种方法,器件数量翻倍,降低了电源的功率密度。Transphorm的TO-220封装有效解决了这一问题,以更低的成本实现卓越的功率密度,这是目前增强型氮化镓器件无法做到的。

其它规格及特点还包括:可运行于90至264Vac的宽输入电压下峰值效率超过96%,不同电路及负载下效率曲线平坦精准的开关频率调节,提高输入EMI滤波器的利用率超过180kHz的开关频率,适用于紧凑型设计。

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